新田 勇, 長岡 泰, 菅野 明宏, 小俣 公夫
精密工学会学術講演会講演論文集
2005A
(0),
931-932,
2005
共焦点型レーザ顕微鏡の視野を大幅に広げることを試みた.走査レンズの組立てにシュリンクフィッタ技術を用いることにより,結象面でレーザスポットを微細に保ったままで10mm走査することができた.これにより,ほぼ10mm角の領域を観察することができる新しいレーザ顕微鏡を試作した.光源に半導体レーザを用いることで,容易に波長を変えることが可能である.種々の表面を観察した結果について述べる.
DOI