Surface scattering and diffraction III : 4-6 August 2003, San Diego, California, USA

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書誌事項

Surface scattering and diffraction III : 4-6 August 2003, San Diego, California, USA

Zu-Han Gu, Alexei A. Maradudin, chairs/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering

（Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 5189）

SPIE, c2003

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内容説明・目次

内容説明

Previous symposia entitled: Surface scattering and diffraction for advanced metrology.

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  • Proceedings

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA64881873
  • ISBN
    • 0819450626
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash., USA
  • ページ数/冊数
    vii, 198 p.
  • 大きさ
    28 cm
  • 親書誌ID
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