半導体ドライエッチング技術
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半導体ドライエッチング技術
(集積回路プロセス技術シリーズ)
産業図書, 1992.10
- タイトル読み
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ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
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半導体ドライエッチング技術
1992
限定公開 -
半導体ドライエッチング技術
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注記
監修: 菅野卓雄
内容説明・目次
内容説明
本書は集積回路プロセス技術シリーズの中の一巻として企画され、ドライエッチング技術を、その基礎から最先端まで集大成してまとめたものであり、1980年に同シリーズから刊行された「半導体プラズマプロセス技術」を補完するものである。
目次
- 超LSI技術とドライエッチング
- ドライエッチングの基礎
- 最新のドライエッチング技術(シリコン;化合物半導体)
- ドライエッチングとレジスト技術
- 最新のドライエッチング装置
- モデリングとシミュレーション
- ドライエッチングと計測
- ドライエッチングの新技術
- ドライエッチング技術の将来展望
「BOOKデータベース」 より