Ceramic Vacuum Pump
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- OKAMURA Tomoaki
- 三菱重工業(株) 広島製作所
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- OHTAKI Takashi
- 三菱重工業(株) 広島製作所
Bibliographic Information
- Other Title
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- セラミック真空ポンプ
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Journal
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- ターボ機械
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ターボ機械 23 (11), 642-646, 1995-11-10
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1571698599008229376
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- NII Article ID
- 10002165295
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- NII Book ID
- AN00004836
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- ISSN
- 03858839
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles