Application of a Dry Turbo Vacuum Pump to Semiconductor Manufacturing Processes

• NAGAOKA Takashi

  (株)日立製作所 機械研究所

• MASE Masahiro

  (株)日立製作所 土浦工場

• SAKAGAMI Seiji

  (株)日立製作所 機械研究所

Bibliographic Information

Other Title

• ターボ型ドライ真空ポンプの半導体製造プロセスへの適用

Journal

• ターボ機械

  ターボ機械 23 (11), 670-674, 1995-11-10

Details

• CRID: 1573950398821841792
• NII Article ID: 10002165322
• NII Book ID: AN00004836
• ISSN: 03858839
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles