アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究
- 著者名
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筒井, 一生
- 著者別名
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ツツイ, カズオ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第1753号
- 学位授与年月日
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1986-03-26
注記・抄録
博士論文
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:99001154