Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用
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著者
書誌事項
- タイトル
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Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions
- タイトル別名
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クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用
- 著者名
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臼井, 博明
- 著者別名
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ウスイ, ヒロアキ
- 学位授与大学
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京都大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第3986号
- 学位授与年月日
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1988-03-23
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (26コマ目)
