Glow discharge sputtering phenomena and the detection of sputtered species for the application to surface spectrochemical analysis グロー放電によるスパッタリング現象の原子スペクトル測定とその表面分析への応用
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- タイトル
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Glow discharge sputtering phenomena and the detection of sputtered species for the application to surface spectrochemical analysis
- タイトル別名
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グロー放電によるスパッタリング現象の原子スペクトル測定とその表面分析への応用
- 著者名
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Teo Wei Boon
- 著者別名
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ティオ ウェイ ブン
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第4062号
- 学位授与年月日
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1989-03-24
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (7コマ目)