Glow discharge sputtering phenomena and the detection of sputtered species for the application to surface spectrochemical analysis グロー放電によるスパッタリング現象の原子スペクトル測定とその表面分析への応用

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著者

    • Teo Wei Boon ティオ ウェイ ブン

書誌事項

タイトル

Glow discharge sputtering phenomena and the detection of sputtered species for the application to surface spectrochemical analysis

タイトル別名

グロー放電によるスパッタリング現象の原子スペクトル測定とその表面分析への応用

著者名

Teo Wei Boon

著者別名

ティオ ウェイ ブン

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4062号

学位授与年月日

1989-03-24

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000053241
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000053359
  • NDL書誌ID
    • 000000217555
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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