電子サイクロトロン共鳴プラズマを用いた薄膜作製とその応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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電子サイクロトロン共鳴プラズマを用いた薄膜作製とその応用に関する研究
- 著者名
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真鍋, 由雄
- 著者別名
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マナベ, ヨシオ
- 学位授与大学
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九州大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第4732号
- 学位授与年月日
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1990-04-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (5コマ目)
電子サイクロトロン共鳴プラズマを用いた薄膜作製とその応用に関する研究
真鍋, 由雄
マナベ, ヨシオ
九州大学
工学博士
乙第4732号
1990-04-25
博士論文