ダイナミックイオンビームミキシング法による窒化物セラミックス薄膜の形成とその結晶配向性 ダイナミック イオン ビーム ミキシングホウ ニヨル チッカブツ セラミックス ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ ケッショウ ハイコウセイ

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著者

    • 木内, 正人 キウチ, マサト

書誌事項

タイトル

ダイナミックイオンビームミキシング法による窒化物セラミックス薄膜の形成とその結晶配向性

タイトル別名

ダイナミック イオン ビーム ミキシングホウ ニヨル チッカブツ セラミックス ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ ケッショウ ハイコウセイ

著者名

木内, 正人

著者別名

キウチ, マサト

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第5308号

学位授与年月日

1991-02-28

注記・抄録

博士論文

09536

博士(工学)

1991-02-28

大阪大学

14401乙第05308号

目次

  1. 目次 / p3 (0004.jp2)
  2. 摘要 / p1 (0003.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  4. 1-1 はじめに / p1 (0006.jp2)
  5. 1-2 ドライプロセスによる表面改質技術の現状 / p2 (0007.jp2)
  6. 1-3 ダイナミックイオンビームミキシング法 / p5 (0008.jp2)
  7. 1-4 本論文の目的と内容 / p7 (0009.jp2)
  8. 参考文献 / p9 (0010.jp2)
  9. 第2章 試料作製およびその解析 / p11 (0011.jp2)
  10. 2-1 はじめに / p11 (0011.jp2)
  11. 2-2 配向性セラミックス薄膜の作製 / p11 (0011.jp2)
  12. 2-3 各種分析法による解析 / p14 (0013.jp2)
  13. 2-4 結論 / p23 (0017.jp2)
  14. 参考文献 / p23 (0017.jp2)
  15. 第3章 ミキシング層 / p24 (0018.jp2)
  16. 3-1 はじめに / p24 (0018.jp2)
  17. 3-2 ミキシング層の構造とその効果 / p27 (0019.jp2)
  18. 3-3 結論 / p32 (0022.jp2)
  19. 参考文献 / p32 (0022.jp2)
  20. 第4章 窒化チタン薄膜の結晶配向性 / p33 (0022.jp2)
  21. 4-1 はじめに / p33 (0022.jp2)
  22. 4-2 窒化チタン薄膜の成長過程 / p35 (0023.jp2)
  23. 4-3 供給比による結晶配向性の変化 / p39 (0025.jp2)
  24. 4-4 吸着窒素とイオンビームの影響 / p44 (0028.jp2)
  25. 4-5 結論 / p53 (0032.jp2)
  26. 参考文献 / p53 (0032.jp2)
  27. 第5章 コンピュ―ターシミュレーションによる損傷評価 / p55 (0033.jp2)
  28. 5-1 はじめに / p55 (0033.jp2)
  29. 5-2 シミュレーションモデル / p55 (0033.jp2)
  30. 5-3 シミュレーション結果 / p61 (0036.jp2)
  31. 5-4 考察 / p66 (0039.jp2)
  32. 5-5 結論 / p69 (0040.jp2)
  33. 参考文献 / p69 (0040.jp2)
  34. 第6章 半窒化チタン薄膜の形成 / p71 (0041.jp2)
  35. 6-1 半窒化チタン薄膜 / p71 (0041.jp2)
  36. 6-2 ダイナミックミキシング法による半窒化チタン薄膜の形成 / p71 (0041.jp2)
  37. 参考文献 / p78 (0045.jp2)
  38. 第7章 窒化クロム薄膜の形成 / p79 (0045.jp2)
  39. 7-1 はじめに / p79 (0045.jp2)
  40. 7-2 実験および結果 / p79 (0045.jp2)
  41. 7-3 考察 / p85 (0048.jp2)
  42. 7-4 結論 / p88 (0050.jp2)
  43. 参考文献 / p89 (0050.jp2)
  44. 第8章 窒化タンタル薄膜の形成と結晶配向性 / p90 (0051.jp2)
  45. 8-1 はじめに / p90 (0051.jp2)
  46. 8-2 実験および結果 / p92 (0052.jp2)
  47. 8-3 考察 / p96 (0054.jp2)
  48. 8-4 結論 / p98 (0055.jp2)
  49. 参考文献 / p98 (0055.jp2)
  50. 第9章 結論 / p99 (0055.jp2)
  51. 謝辞 / p101 (0056.jp2)
  52. 研究発表目録 / p102 (0057.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075905
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000076106
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000240219
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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