電子回路のパターン欠陥高精度認識の研究

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著者

    • 中川, 泰夫 ナカガワ, ヤスオ

書誌事項

タイトル

電子回路のパターン欠陥高精度認識の研究

著者名

中川, 泰夫

著者別名

ナカガワ, ヤスオ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第2086号

学位授与年月日

1990-07-31

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / p1 (0004.jp2)
  3. 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.1 緒言 / p1 (0006.jp2)
  5. 1.2 従来の研究 / p7 (0009.jp2)
  6. 1.3 本研究の目的 / p26 (0019.jp2)
  7. 1.4 本研究の特徴 / p27 (0019.jp2)
  8. 1.5 本研究の構成 / p31 (0021.jp2)
  9. 第2章 局所摂動パターンマッチング法による一層パターンの高精度欠陥認識 / p33 (0022.jp2)
  10. 2.1 緒言 / p33 (0022.jp2)
  11. 2.2 欠陥認識アルゴリズム:局所摂動パターンマッチング法 / p39 (0025.jp2)
  12. 2.3 レジストパターン検査装置の構成 / p49 (0030.jp2)
  13. 2.4 評価結果 / p61 (0036.jp2)
  14. 2.5 結言 / p66 (0039.jp2)
  15. 第3章 カスケードパターンマッチング法によるLSI多層パターンの高精度欠陥認識 / p68 (0040.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p68 (0040.jp2)
  17. 3.2 LSI 多層パターン欠陥認識の技術課題 / p71 (0041.jp2)
  18. 3.3 カスケードパターンマッチング法 / p74 (0043.jp2)
  19. 3.4 評価結果 / p87 (0049.jp2)
  20. 3.5 結言 / p102 (0057.jp2)
  21. 第4章 2値局所摂動パターンマッチング法によるプリント板マスクパターンの欠陥認識 / p104 (0058.jp2)
  22. 4.1 緒言 / p104 (0058.jp2)
  23. 4.2 設計パターン発生法 / p109 (0060.jp2)
  24. 4.3 欠陥認識アルゴリズム:2値局所摂動パターンマッチング法 / p118 (0065.jp2)
  25. 4.4 プリント板マスクパターン検査装置の構成 / p125 (0068.jp2)
  26. 4.5 評価結果 / p136 (0074.jp2)
  27. 4.6 結言 / p139 (0075.jp2)
  28. 第5章 設計パターン比較方式・局所摂動パターンマッチング法によるX線マスクパターンの高精度欠陥認識 / p140 (0076.jp2)
  29. 5.1 緒言 / p140 (0076.jp2)
  30. 5.2 STEMによるX線マスクパターンの検出 / p143 (0077.jp2)
  31. 5.3 設計濃淡画像の発生と局所摂動パターンマッチング法による欠陥認識 / p150 (0081.jp2)
  32. 5.4 評価結果 / p155 (0083.jp2)
  33. 5.5 結言 / p159 (0085.jp2)
  34. 第6章 接続情報比較によるグリーンシート配線パターンの致命欠陥認識 / p160 (0086.jp2)
  35. 6.1 緒言 / p160 (0086.jp2)
  36. 6.2 配線パターンの致命欠陥 / p164 (0088.jp2)
  37. 6.3 輝点ノイズ除去パターン検出 / p165 (0088.jp2)
  38. 6.4 接続情報比較による致命欠陥認識アルゴリズム / p173 (0092.jp2)
  39. 6.5 グリーンシート配線パターン検査装置の構成 / p190 (0101.jp2)
  40. 6.6 評価結果 / p196 (0104.jp2)
  41. 6.7 結言 / p199 (0105.jp2)
  42. 第7章 結論 / p201 (0106.jp2)
  43. 参考文献 / p208 (0110.jp2)
  44. 謝辞 / p215 (0113.jp2)
  45. 付録:平面カラーディスプレイ用TFT多層パターン検査への局所摂動パターンマッチング法の適用 / p216 (0114.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000078073
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000078277
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000242387
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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