一酸化炭素を原料とするダイヤモンド薄膜の気相合成と応用技術
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Author
Bibliographic Information
- Title
-
一酸化炭素を原料とするダイヤモンド薄膜の気相合成と応用技術
- Author
-
斎藤, 幸雄
- Author(Another name)
-
サイトウ, ユキオ
- University
-
東京工業大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第2282号
- Degree year
-
1991-11-30
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 研究の背景と目的 / p1 (0006.jp2)
- 第2章 原料ガス系の探索 / p13 (0018.jp2)
- 2.1 緒言 / p13 (0018.jp2)
- 2.2 実験装置及び実験方法 / p14 (0019.jp2)
- 2.3 実験結果及び考察 / p18 (0023.jp2)
- 2.4 まとめ / p48 (0053.jp2)
- 第3章 生成機構の検討 / p49 (0054.jp2)
- 3.1 緒言 / p49 (0054.jp2)
- 3.2 実験装置及び実験方法 / p51 (0056.jp2)
- 3.3 実験結果及び考察 / p56 (0061.jp2)
- 3.4 まとめ / p75 (0080.jp2)
- 第4章 ダイヤモンド膜の特性評価 / p76 (0081.jp2)
- 4.1 緒言 / p76 (0081.jp2)
- 4.2 実験装置及び実験方法 / p78 (0083.jp2)
- 4.3 実験結果及び考察 / p82 (0087.jp2)
- 4.4 まとめ / p94 (0099.jp2)
- 第5章 基板材料の検討 / p96 (0101.jp2)
- 5.1 緒言 / p96 (0101.jp2)
- 5.2 実験装置及び実験方法 / p97 (0102.jp2)
- 5.3 実験結果及び考察 / p99 (0104.jp2)
- 5.4 まとめ / p113 (0118.jp2)
- 第6章 コーティング工具への応用 / p114 (0119.jp2)
- 6.1 緒言 / p114 (0119.jp2)
- 6.2 実験装置及び実験方法 / p119 (0124.jp2)
- 6.3 実験結果及び考察 / p121 (0126.jp2)
- 6.4 まとめ / p133 (0138.jp2)
- 第7章 本研究の結言 / p134 (0139.jp2)
- 参考文献 / p137 (0142.jp2)
