一酸化炭素を原料とするダイヤモンド薄膜の気相合成と応用技術

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博士論文

論文目録 / (0002.jp2)
目次 / (0004.jp2)
第1章研究の背景と目的 / p1 (0006.jp2)
第2章原料ガス系の探索 / p13 (0018.jp2)
2.1 緒言 / p13 (0018.jp2)
2.2 実験装置及び実験方法 / p14 (0019.jp2)
2.3 実験結果及び考察 / p18 (0023.jp2)
2.4 まとめ / p48 (0053.jp2)
第3章生成機構の検討 / p49 (0054.jp2)
3.1 緒言 / p49 (0054.jp2)
3.2 実験装置及び実験方法 / p51 (0056.jp2)
3.3 実験結果及び考察 / p56 (0061.jp2)
3.4 まとめ / p75 (0080.jp2)
第4章ダイヤモンド膜の特性評価 / p76 (0081.jp2)
4.1 緒言 / p76 (0081.jp2)
4.2 実験装置及び実験方法 / p78 (0083.jp2)
4.3 実験結果及び考察 / p82 (0087.jp2)
4.4 まとめ / p94 (0099.jp2)
第5章基板材料の検討 / p96 (0101.jp2)
5.1 緒言 / p96 (0101.jp2)
5.2 実験装置及び実験方法 / p97 (0102.jp2)
5.3 実験結果及び考察 / p99 (0104.jp2)
5.4 まとめ / p113 (0118.jp2)
第6章コーティング工具への応用 / p114 (0119.jp2)
6.1 緒言 / p114 (0119.jp2)
6.2 実験装置及び実験方法 / p119 (0124.jp2)
6.3 実験結果及び考察 / p121 (0126.jp2)
6.4 まとめ / p133 (0138.jp2)
第7章本研究の結言 / p134 (0139.jp2)
参考文献 / p137 (0142.jp2)