プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制
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著者
書誌事項
- タイトル
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プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制
- 著者名
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市橋, 由成
- 著者別名
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イチハシ, ヨシナリ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第13694号
- 学位授与年月日
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2010-09-08
注記・抄録
博士論文
プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制
市橋, 由成
イチハシ, ヨシナリ
東北大学
博士 (工学)
甲第13694号
2010-09-08
博士論文