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プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制

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著者

    • 市橋, 由成 イチハシ, ヨシナリ

書誌事項

タイトル

プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制

著者名

市橋, 由成

著者別名

イチハシ, ヨシナリ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第13694号

学位授与年月日

2010-09-08

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000548596
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000550701
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 023337639
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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