Materials and process characterization

著者

• Einspruch, Norman G.
• Larrabee, Graydon B.

書誌事項

Materials and process characterization

edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee

（VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch, 6）

Academic Press, 1983

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA01084713
• ISBN:
  • 0122341066
• LCCN: 81002877
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York ; Orlando ; Tokyo
• ページ数/冊数: xii, 601 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration
  • LCSH : Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
• 親書誌ID:
  • BA00191015