Silicon materials

著者

• Einspruch, Norman G.
• Huff, Howard

書誌事項

Silicon materials

edited by Norman G. Einspruch, Howard Huff

（VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch, Vol. 12）

Academic Press, 1985

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA05148385
• ISBN:
  • 0122341120
• LCCN: 81002877
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Orlando, Fla.
• ページ数/冊数: xii, 463 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TX7874.V56
  • DC : 621.3819/5835
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration
• 親書誌ID:
  • BA00191015