Beam processing technologies

著者

• Einspruch, Norman G.
• Cohen, Simon S.
• Singh, Raj N.

書誌事項

Beam processing technologies

edited by Norman G. Einspruch, S.S. Cohen, Raj N. Singh

（VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch, v. 21）

Academic Press, c1989

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA06985587
• ISBN:
  • 012234121X
• LCCN: 81002877
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: San Diego, Calif. ; Tokyo
• ページ数/冊数: xii, 546 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • NDC7 : 549.3
  • NDC7 : 549.46
  • NDC8 : 549.708
• 件名:
  • LCSH : Intergrated circuits -- Very large scale integration
• 親書誌ID:
  • BA00191015