ID:DA00703339
微细加工技术编辑委员会
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マイクロ加工技術編集委員会編
日刊工業新聞社 1988.9 第2版
所蔵館58館
(日)微细加工技术编辑委员会编 ; 朱怀义, 赵巾奎译
科学出版社 1983.7
所蔵館1館
日刊工業新聞社 1977.4
所蔵館88館
