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【2023年10月31日掲載】CiNii BooksのCiNii Researchへの統合について
新「国立国会図書館サーチ」公開によるCiNiiサービスへの影響について
Luo, Jianfeng
ID:DA15350742
別名
Luo, J. (Jianfeng)
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Integrated modeling of chemical mechanical planarization for sub-micron IC fabrication : from particle scale to feature, die and wafer scales
Jianfeng Luo, David Dornfeld
Springer
2004
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