ID:DA18183658
Technical Committee on Ultra Precision Machining of JPSE
Technical Committee on Ultra Precision Machining of JapanSociety for Precision Engineering
精密工学会. 超精密加工専門委員会（セイミツ コウガッカイ. チョウセイミツ カコウ センモン イインカイ）
Japan Society for Precision Engineering. Technical Committee on Ultra Precision Machining
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大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編
大阪大学出版会 2014.3
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