超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術
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超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術
大阪大学出版会, 2014.3
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チョウセイミツ カコウ ト ヒョウメン カガク : ゲンシ レベル ノ セイサン ギジュツ
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Description and Table of Contents
Description
次世代のさまざまな製造分野への応用が強く望まれる原子レベルの生産技術。原子レベルの制御性と環境調和性の実現をめざした超精密加工技術、「原子制御製造プロセス」の最新成果を、表面科学や計算物理学などの基礎科学分野と、材料・加工・計測を３本柱とする物づくり分野とが一体となった「ナノ表面科学」として体系化。
Table of Contents
- 第１部 表面ナノデザイン（コンピュータによるマテリアルデザイン；表面界面物性シミュレーション；表面反応過程シミュレーション）
- 第２部 薄膜・ナノマテリアル創成プロセス（表面構造と物性制御；新機能薄膜創成技術；ナノデバイス創成技術）
- 第３部 表面創成プロセス（ウェットプロセス；半導体ウェットプロセス；大気圧気相プロセス）
- 第４部 表面計測の新手法（形状計測；光プローブによる高機能計測；ナノプローブによる高機能計測）
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