電子線描画装置用可変成形ビームの研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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電子線描画装置用可変成形ビームの研究
- 著者名
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中筋, 護
- 著者別名
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ナカスジ, マモル
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3822号
- 学位授与年月日
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1986-03-07
注記・抄録
博士論文
電子線描画装置用可変成形ビームの研究
中筋, 護
ナカスジ, マモル
大阪大学
工学博士
乙第3822号
1986-03-07
博士論文