ZnO,AlN等のスパッタ膜作製における中性粒子束とその膜に及ぼす影響
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
ZnO,AlN等のスパッタ膜作製における中性粒子束とその膜に及ぼす影響
- 著者名
-
富永, 喜久雄
- 著者別名
-
トミナガ, キクオ
- 学位授与大学
-
京都大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第5490号
- 学位授与年月日
-
1985-01-23
注記・抄録
博士論文
ZnO,AlN等のスパッタ膜作製における中性粒子束とその膜に及ぼす影響
富永, 喜久雄
トミナガ, キクオ
京都大学
工学博士
乙第5490号
1985-01-23
博士論文