CZ法シリコン結晶育成における酸素濃度制御に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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CZ法シリコン結晶育成における酸素濃度制御に関する研究
- 著者名
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干川, 圭吾
- 著者別名
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ホシカワ, ケイゴ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第1687号
- 学位授与年月日
-
1987-05-31
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (6コマ目)
CZ法シリコン結晶育成における酸素濃度制御に関する研究
干川, 圭吾
ホシカワ, ケイゴ
東京工業大学
工学博士
乙第1687号
1987-05-31
博士論文