Studies of oxidation-induced stacking faults in silicon シリコン結晶の熱酸化積層欠陥の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Studies of oxidation-induced stacking faults in silicon
- タイトル別名
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シリコン結晶の熱酸化積層欠陥の研究
- 著者名
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早藤, 貴範
- 著者別名
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ハヤフジ, ヨシノリ
- 学位授与大学
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関西学院大学
- 取得学位
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理学博士
- 学位授与番号
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乙第101号
- 学位授与年月日
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1984-03-27
注記・抄録
博士論文
