スパッタリング法による立方晶窒化ホウ素の作製
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Author
Bibliographic Information
- Title
-
スパッタリング法による立方晶窒化ホウ素の作製
- Author
-
三重野, 正寛
- Author(Another name)
-
ミエノ, マサヒロ
- University
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東京大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
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甲第9033号
- Degree year
-
1991-03-29
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 博士論文目次 / p1 (0003.jp2)
- 第一章 緒言 / p1 (0005.jp2)
- 第二章 本研究の背景 / p4 (0008.jp2)
- 2.1 窒化ホウ素 / p4 (0008.jp2)
- 2.2 スパッタリングプロセス / p8 (0012.jp2)
- 参考文献 / p20 (0024.jp2)
- 第三章 スパッタリング法によるBN堆積 / p26 (0030.jp2)
- 3.1 スパッタリング法による冷却基板へのBN堆積 / p26 (0030.jp2)
- 3.2 基板中央配置型での基板温度制御効果 / p40 (0044.jp2)
- 3.3 バイアススパッタリング法によるc-BN薄膜合成 / p47 (0051.jp2)
- 参考文献 / p104 (0108.jp2)
- 第四章 総括 / p106 (0110.jp2)
- 参考文献 / p109 (0113.jp2)
- 謝辞 / p110 (0114.jp2)
