メタン-SF6混合ガスを用いたプラズマCVD薄膜に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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メタン-SF6混合ガスを用いたプラズマCVD薄膜に関する研究
- 著者名
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松下, 雅樹
- 著者別名
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マツシタ, マサキ
- 学位授与大学
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名古屋大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第5889号
- 学位授与年月日
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2003-03-25
注記・抄録
博士論文
メタン-SF6混合ガスを用いたプラズマCVD薄膜に関する研究
松下, 雅樹
マツシタ, マサキ
名古屋大学
博士 (工学)
甲第5889号
2003-03-25
博士論文