Study on silicon piezoresistive multi-axis micro accelerometers シリコンピエゾ抵抗型マイクロ多軸加速度センサに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Study on silicon piezoresistive multi-axis micro accelerometers
- タイトル別名
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シリコンピエゾ抵抗型マイクロ多軸加速度センサに関する研究
- 著者名
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Yattowita Withanage Ranjith Amarasinghe
- 著者別名
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ヤトウーウイタ ウイターナゲ ランジス アマラシンゲ
- 学位授与大学
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立命館大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第429号
- 学位授与年月日
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2007-03-09
注記・抄録
博士論文