電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発

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著者

    • 浅地, 豊久 アサジ, トヨヒサ

書誌事項

タイトル

電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発

著者名

浅地, 豊久

著者別名

アサジ, トヨヒサ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第11917号

学位授与年月日

2007-03-23

注記・抄録

博士論文

14401甲第11917号

博士(工学)

大阪大学

2007-03-23

21196

2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000372775
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000373940
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000008538261
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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