Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations 大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価
Access this Article
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations
- Other Title
-
大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価
- Author
-
丁, 毅
- Author(Another name)
-
ディン, イ
- University
-
埼玉大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第777号
- Degree year
-
2010-03-24
Note and Description
博士論文
博士の専攻分野の名称 : 博士(工学)学位授与年月日 : 平成22年3月24日
identifier:学位記号番号 : 博理工甲第777号
