Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations 大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価
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著者
書誌事項
- タイトル
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Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations
- タイトル別名
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大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価
- 著者名
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丁, 毅
- 著者別名
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ディン, イ
- 学位授与大学
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埼玉大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第777号
- 学位授与年月日
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2010-03-24
注記・抄録
博士論文
博士の専攻分野の名称 : 博士(工学)学位授与年月日 : 平成22年3月24日
identifier:学位記号番号 : 博理工甲第777号
