塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用
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著者
書誌事項
- タイトル
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塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用
- 著者名
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纐纈, 英典
- 著者別名
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コウケツ, ヒデノリ
- 学位授与大学
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奈良先端科学技術大学院大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第1069号
- 学位授与年月日
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2012-03-23
注記・抄録
博士論文
塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用
纐纈, 英典
コウケツ, ヒデノリ
奈良先端科学技術大学院大学
博士 (工学)
甲第1069号
2012-03-23
博士論文