誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断
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著者
書誌事項
- タイトル
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誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断
- 著者名
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林, 雄一郎
- 著者別名
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ハヤシ, ユウイチロウ
- 学位授与大学
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慶應義塾大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第3743号
- 学位授与年月日
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2012-09-21
注記・抄録
博士論文
誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断
林, 雄一郎
ハヤシ, ユウイチロウ
慶應義塾大学
博士(工学)
甲第3743号
2012-09-21
博士論文