Ion implantation : science and technology

著者

• Ziegler, J. F.

書誌事項

Ion implantation : science and technology

edited by J.F. Ziegler

Academic Press, 1984

• alk. paper

注記

Includes index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA01370949
• ISBN:
  • 0127806202
• LCCN: 84045412
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 出版地: Orlando, FL
• ページ数/冊数: 635 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : QC702.7.I55
  • DC19 : 539/.6
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation