Electron-beam technology in microelectronic fabrication

著者

• Brewer, George Raymond
• Ballantyne, J. P.

書誌事項

Electron-beam technology in microelectronic fabrication

edited by George R. Brewer ; contributors, J. P. Ballantyne ... [et al.]

Academic Press, 1980

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BA03079113
• ISBN:
  • 012133550X
• LCCN: 79008856
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xi, 362 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC : 621.381/7
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics
  • LCSH : Lithography, Electron beam