Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987

著者

• Rubloff, G. W. (Gary W.)

書誌事項

Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987

editor, G.W. Rubloff

（AIP conference proceedings, no. 167 . American Vacuum Society series ; 4）

American Institute of Physics, 1988

注記

DOE CONF-8711124

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA06598037
• ISBN:
  • 0883183676
• LCCN: 88071432
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: 388 p.
• 大きさ: 25 cm
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA00284604