Microelectronic materials and processes

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Microelectronic materials and processes

edited by R.A. Levy

（NATO ASI series, ser. E . Applied sciences ; no. 164）

Kluwer Academic, 1989

  • : hbk
  • : pbk

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Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Microelectronic Materials and Processes II Ciocco, Castelvecchio Pascoli, Italy, June 30-July 11, 1986

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