Diffusion phenomena in thin films and microelectronic materials

著者

• Gupta, Devendra
• Ho, P. S.

書誌事項

Diffusion phenomena in thin films and microelectronic materials

edited by Devendra Gupta and Paul S. Ho

Noyes Publications, c1988

注記

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07037807
• ISBN:
  • 0815511671
• LCCN: 88022634
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Park Ridge, N.J., U.S.A.
• ページ数/冊数: xvi, 588 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : QC176.84.D54
  • DC19 : 621.381/7
• 件名:
  • LCSH : Diffusion
  • LCSH : Thin films
  • LCSH : Microstructure