Silicides for VLSI applications

著者

• Murarka, S. P.

書誌事項

Silicides for VLSI applications

S.P. Murarka

Academic Press, 1983

タイトル別名

Silicides for V.L.S.I. applications

注記

Bibliography: p. 177-186

Includes indexes

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07248562
• ISBN:
  • 0125112203
• LCCN: 82016414
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xi, 200 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.15.S54
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Silicides
  • LCSH : Electronics -- Materials
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration