Excimer beam applications, 6 September 1988, Boston, Massachusetts

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Excimer beam applications, 6 September 1988, Boston, Massachusetts

Anthony N. Pirri, Bernhard P. Piwczyk, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, Applied Optics Laboratory/New Mexico State University ... [et al.]

(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 998)

SPIE--International Society for Optical Engineering, c1988

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  • Proceedings

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA09832979
  • ISBN
    • 0819400335
  • LCCN
    88062998
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash., USA
  • ページ数/冊数
    vi, 128 p.
  • 大きさ
    28 cm
  • 親書誌ID
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