SEM microcharacterization of semiconductors

著者

• Holt, D. B.
• Joy, David C.

書誌事項

SEM microcharacterization of semiconductors

edited by D.B. Holt, D.C. Joy

（Techniques of physics, 12）

Academic Press, c1989

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA10022466
• ISBN:
  • 0123538556
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: London ; Tokyo
• ページ数/冊数: xiii, 452 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • UDC : 621.382.3
  • DC20 : 621.38152
• 件名:
  • PRECIS : Semiconductor devices
  • LCSH : Semiconductors
• 親書誌ID:
  • BA00051592