Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held Novermber 27-28, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.
著者
書誌事項
Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held Novermber 27-28, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 165）
Materials Research Society, c1990
大学図書館所蔵 件 / 全10件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
注記
Includes bibliographical references and index
内容説明・目次
内容説明
The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
「Nielsen BookData」 より
