Ion beams; with applications to ion implantation

著者

• Wilson, Robert G.
• Brewer, George Raymond

書誌事項

Ion beams; with applications to ion implantation

Robert G. Wilson, George R. Brewer

Wiley, c1973

注記

"A Wiley-Interscience publication."

Includes bibliographies

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA13999253
• ISBN:
  • 0471950009
• LCCN: 72010383
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xii, 500 p
• 大きさ: 23 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC : 621.3815/2/028
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Ion bombardment