Ion implantation in semiconductors : silicon and germanium

著者

• Mayer, James W.
• Eriksson, Lennart
• Davies, John Arthur

書誌事項

Ion implantation in semiconductors : silicon and germanium

[by] James W. Mayer, Lennart Eriksson and John A. Davies

Academic Press, 1970

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA18163723
• ISBN:
  • 0124808506
• LCCN: 75107563
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xiii, 280 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC : 621.381/52
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Semiconductors