Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 29. Oktober 1992 : Tagungsbericht

著者

• VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik

書誌事項

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 29. Oktober 1992 : Tagungsbericht

（VDI-Berichte, 1012）

VDI-Verlag, c1992

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA19739324
• ISBN:
  • 3180910127
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: ger
• 本文言語コード: ger
• 出版地: Düsseldorf
• ページ数/冊数: 157 p.
• 大きさ: 23 cm
• 親書誌ID:
  • BA07558548