Introduction to VLSI process engineering

著者

• 化学工学協会 カガク コウガク キョウカイ
• 仲, 勇治 ナカ, ユウジ

書誌事項

Introduction to VLSI process engineering

edited by the Society of Chemical Engineers of Japan [; editor in chief, Yuji Naka]

Chapman & Hall, c1993

English language ed

タイトル別名

化学技術者のための超LSI技術入門

注記

"The English language edition has been translated from the original Japanese publication Introduction to VLSI processing for chemical engineers, Baifukan c1989" -- T. p. verso

Includes index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA20932401
• ISBN:
  • 0412395509
• LCCN: 92045674
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 原本言語コード: jpn
• 出版地: London ; Tokyo
• ページ数/冊数: xiii, 210 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC20 : 621.39/5
  • NDC8 : 549.7
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction
  • LCSH : Manufacturing processes