Silicon processing for the VLSI era

著者

• Wolf, Stanley

書誌事項

Silicon processing for the VLSI era

Stanley Wolf

Lattice Press, c1986-<c1990 >

• cover : v. 1
• v. 1
• v. 2
• v. 2

注記

vol. 1: Process technology. vol. 2: Process integration

Includes bibliographies and indexes

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA21071769
• ISBN:
  • 0961672137
  • 0961672145
• LCCN: 86081923
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Sunset Beach, Calif.
• ページ数/冊数: v. <1-2 >
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • LCC : TK7874
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration
  • LCSH : Silicon