Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 27. und 28. Oktober 1993

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書誌事項

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 27. und 28. Oktober 1993

（VDI-Berichte, 1102）

VDI-Verlag, c1993

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA21401091
  • ISBN
    • 3180911026
  • 出版国コード
    gw
  • タイトル言語コード
    ger
  • 本文言語コード
    gereng
  • 出版地
    Düsseldorf
  • ページ数/冊数
    187 p.
  • 大きさ
    23 cm
  • 親書誌ID
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