Characterization in silicon processing

著者

• Strausser, Yale

書誌事項

Characterization in silicon processing

editor, Yale Strusser ; consulting editors, C.R. Brundle, Gary E. McGuire ; managing editor, Lee E. Fitzpatrick

（Materials characterization series）

Butterworth-Heinemann , Manning, c1993

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA23536910
• ISBN:
  • 0750691727
• LCCN: 93022784
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston,Greenwich
• ページ数/冊数: xiii, 240 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : QC611.8.S5
  • DC20 : 620.1/93
• 件名:
  • LCSH : Silicon
  • LCSH : Electric conductors
  • LCSH : Semiconductor films
  • LCSH : Surface chemistry
• 親書誌ID:
  • BA1935513X