Semiconductor microlithography VI, March 30-31, 1981, San Jose, California

著者

• Dey, Jim

書誌事項

Semiconductor microlithography VI, March 30-31, 1981, San Jose, California

Jim Dey

（Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 275）

SPIE, the International Society for Optical Engineering, c1981

注記

Includes bibliographical references and indexes

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA23957158
• ISBN:
  • 0892523085
• LCCN: 81051405
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Wash.
• ページ数/冊数: vi, 221 p.
• 大きさ: 28 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC19 : 621.381/71
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Congresses
  • LCSH : Microlithography -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA0022700X